选型必须确认
气体与洁净目标
气体名称、纯度、颗粒控制要求,以及是否为反应性或腐蚀性介质。
工况
正常/最大流量、入口压力、允许压降、温度及工作循环。
机械配置
接口规格、表面安装或管线安装、空间及现用型号。
气体兼容性和额定工况必须依据具体型号的 Entegris 当前数据表确认。
常见问题
只知道 Wafergard 名称能报价吗?
Wafergard 包含不同结构与配置。为避免误配,请提供完整型号或气体、流量、温压、接口和安装方式。
现用型号标签不清楚怎么办?
请提供多角度照片、接口尺寸、安装位置和历史采购信息,我们可先协助识别。