Entegris EUV 光罩传输盒｜1010 Series 与 EUV Pod NX 规格对比

本资料基于 Entegris 公开产品页、2018 年资格公告及 2025 年 EUV Pod NX 数据表，比较两系列的双 Pod 架构、Pellicle 配置、SEMI E152 相关表述、识别追溯、自动化、公开尺寸及型号信息。

资料简介

资料按公开证据边界整理 1010 Series 与 EUV Pod NX 的结构、配置、规格与订购信息。未公开字段已明确标注；具体 P/N、设备适配与资格、价格、交期及库存请按型号、项目或询价确认。

架构与配置
外盒 EOP、内盒 EIP、A / P 与 Pellicle 相关配置。

规格与追溯
SEMI E152 表述、识别追溯、自动化与公开尺寸。

文件版本
Rev A · 2026-09-03 · PDF 6 页。

资料性质
技术选型参考，并非 Entegris 原厂数据表或性能保证。

项目	页面说明
1010 Series	保留公开产品页与 2018 年历史资格公告所支持的范围；不据此推断产品已停产、已被替代或适配所有机台。
EUV Pod NX	依据 2025 年公开数据表整理其结构、追溯、自动化与尺寸信息；具体设备资格、配置和 P/N 需按项目确认。
SEMI E152	仅转述 Entegris 公开资料中的符合或兼容表述，不构成众甫对当前标准状态的独立认证。
商务与文件	制造商、授权范围、当前数据表、图纸、价格、交期、库存及可提供文件以当次书面确认为准。

如已有光刻机、光罩、Pellicle 或现用 Pod 信息，请一并提供具体机台版本、完整 P/N、接口与客户变更要求，用于后续技术确认。

下载众甫整理的 6 页规格对比与选型资料；如需正式数据表、图纸、设备适配或报价，请按型号、项目或询价确认。