一页询价参数清单
| 类别 | 建议填写内容 | 示例关键词 |
|---|---|---|
| 材料名称 | 光刻胶、EUV 光刻胶、ArF 光刻胶、KrF 光刻胶、I-line 光刻胶、显影液、BARC、稀释剂、剥离液。 | photoresist、developer、BARC、solvent |
| 材料资料 | SDS、溶剂体系、浓度、黏度范围、是否高粘度、是否避光或对水氧敏感。 | SDS、黏度、溶剂体系 |
| 工艺位置 | 本体供液、日槽、循环过滤、Track 进口、POU 点供、喷嘴前端或设备内部位置。 | Track、POU、点供、喷嘴前 |
| 过滤目标 | 颗粒、凝胶、微气泡、金属析出、桥接缺陷、涂布缺陷或客户内部缺陷指标。 | 颗粒控制、凝胶控制、defect control |
| 运行条件 | 流量、允许压降、温度、压力、启动/润湿方式、连续或批量使用。 | flow、pressure drop、wetting |
| 安装接口 | 完整型号、滤壳型号、接口规格、安装空间、设备型号和现用标签照片。 | 完整 part number、标签照片 |
| 采购信息 | 数量、年度用量、期望交期、收货地区和所需文件。 | 报价、交期、CoA、资料 |
为什么不能只看“过滤精度”？
介质不同
光刻胶、显影液、BARC 和溶剂的化学体系不同，材料兼容性不能凭名称推断。
光刻胶、显影液、BARC 和溶剂的化学体系不同，材料兼容性不能凭名称推断。
缺陷目标不同
颗粒、凝胶、微气泡和金属析出对应的关注点不同，不能只用一个微米数判断。
颗粒、凝胶、微气泡和金属析出对应的关注点不同，不能只用一个微米数判断。
工艺位置不同
本体供液、Track 进口、POU 点供和喷嘴前端的流量压降、启动和维护方式不同。
本体供液、Track 进口、POU 点供和喷嘴前端的流量压降、启动和维护方式不同。
结构接口不同
滤芯、滤壳、接口、密封和安装空间不匹配，会造成采购到货后无法替换。
滤芯、滤壳、接口、密封和安装空间不匹配，会造成采购到货后无法替换。
如果客户已经有现用 Entegris 型号，请优先提供完整型号和标签照片；如果是新应用，请提供 SDS、工况和过滤目标。众甫光电会协助整理信息，再进入资料确认与报价流程。
常见问答
EUV 光刻胶过滤器和普通湿法化学品过滤器有什么区别？
两者都属于高纯液体过滤场景，但 EUV 光刻胶通常对缺陷控制、材料兼容性、润湿、压降和验证资料更加敏感。具体能力不能凭关键词判断，需要按材料和设备条件确认。
光刻胶滤芯可以按旧型号直接替换吗？
如果旧型号完整、应用条件未变，可作为最快确认路径；若存在停产、材料变更、工艺切换或设备改造，应重新核对当前资料和技术确认结果。
众甫光电联系方式是什么？
公司：众甫光电科技（武汉）有限公司；电话/微信：+86 155 2706 2747；邮箱：[email protected]；网址：https://www.zhongfusemi.cn/。